Venus2000检测系统
支持:
》线宽/套刻/缺陷三合一功能
》0.5um以上线宽量测
》用户自定义缺陷检测
》提供校准补偿功能
》全自动聚焦功能
》反射与透射测量功能
》双屏显示器同时操作功能
产品介绍:
芯硕Venus2000检测设备可满足半导体制程中的光学检测需求,同时具有套刻、线宽和缺陷检测三种功能,可满足90nm工艺节点的套刻测量,0.5um以上的线宽测量及用户自定义的缺陷检测。Venus系列产品采用先进的图形处理技术和成像系统,具有测量精度高、速度快、应用灵活等特点,主要应用于半导体工艺、微纳加工、MEMS、LED等领域中的良率控制。
指标