Mars 9 直接成像系列
功能简介:
超精密量产选择,用于IC载板、高密度板等
特点:
Mars 9系列机型是业界领先的直接成像(DI)解决方案,是一款专为IC载板、软板等超细线路设计的直接成像设备。Mars 9S系列集合了津芯自主研发的光学系统、机械系统和控制系统,配合超高精度的运动平台系统,实现了更高的解析能力的同时,又兼顾了高对位精度和高产能的需求。
本系列可搭配高功率的激光光源,以适应防焊油墨的要求。
产品优势:
对位精度:
• ±8um的出色对位精度,可满足高对位精度要求
• 采用超高精度运动平台
• 支持多种涨缩模式,支持分区域对位,解决板子变形带来的品质异常,提升产品良率
和生产效率
-自动涨缩
-固定涨缩
-智能分段涨缩
-分区域对位
卓越的成像品质:
• 采用津芯自主设计的精密光路系统,可达到20um/20um的线宽线距解析度
• 超高的景深范围,确保在高低差的板面达到很好的成像品质
• 采用成熟的DMD技术,确保品质稳定性
• 支持料号自动编辑功能
• 与CAM直接对接,支持ODB++、Gerber274X、Gerber274D
• 多种格式,高效高速
• 支持多种自动化方案:
• 可根据客户需求,提供多种自动化方案,减少人为因素带来的不良,
• 提升产品品质、提高生产效率、降低成本
-1台LDI+1台机器人
-2台LDI+1台机器人
-2台LDI+2台机器人
• 支持条形码和二维码
产品参数:
SEM效果:
1.5um线路SEM效果